长期以来,应用于半导体先进制程的7N级高纯石英砂高度依赖进口,是我国半导体产业链的关键瓶颈之一。随着芯片技术迭代,先进制程对石英基材的纯度、均一性与稳定性提出了极为严苛的要求。


8月1日,弘扬石英官微宣布,实现了从天然石英矿提纯到高纯化学合成的重大技术跨越,构建了从前驱体技术、化学合成工艺、核心装备开发到应用验证的全链条技术矩阵,成功研发并量产具有完全自主知识产权的7N级99.99999%合成石英砂


此7N级合成石英砂具有:

• 合成石英砂纯度≥99.99999%(7N)
• 特定杂质总含量小于20ppb
• 全面对标进口产品,用于制备半导体级石英坩埚、光刻、刻蚀等核心环节。


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江苏弘扬石英制品有限公司创建于2004年,是一家集石英材料、合成材料、稀土掺杂材料、半导体材料及器件的科技型企业。其产品主要应用于光源、光学、光伏、半导体、激光、航空航天等领域。公司是国家重点小巨人企业、国家专精特新小巨人企业、国家知识产权示范企业、国家高新技术企业、全国创新型中小企业,先后获中国“科技创业贡献奖”、“全国科技创新型企业”等荣誉。公司拥有“三中心两站”创新平台,依托省级创新平台,稀土掺杂石英材料制造技术国内领先,是目前国内石英行业中规模最大、产品种类最齐全的稀土掺杂功能石英玻璃材料制造企业。


除弘扬石英外,全国还有这些企业量产高纯合成石英砂:


无锡光未半导体


5月28日,无锡光未半导体材料有限公司超高纯石英砂项目在中欧产业创新区(梅村街道)正式量产,也正是成为全球第二家量产7N级合成石英砂的企业。(第一位是长期垄断该材料供应的日本三菱化学)光未半导体计划总投资2亿元,建成3条超高纯石英砂产线,2024年7月启动建设,2025年5月首条产线建成并投产,预计年产量700吨、年销售3亿元。项目整体完成后,年产量增至2700吨,年销售超9亿元。


矽瓷新能


矽瓷新能已经成功建立起百吨级的合成石英砂量产线,以及碳化硅和氮化铝粉体的中试线。其产品已经开始向行业头部客户供货,预计将在完成客户一致性验证后,于2025年下半年进入大规模生产阶段。矽瓷新能通过有机-无机聚合凝胶法量产5N8级和7N级石英砂,成本较传统水热法降低50%,原料采用工业硅副产品。


江瀚新材


江瀚新材的超高纯6N级合成石英砂项目自2022年12月开工以来,稳步推进。中试工作顺利开展,公司已成功在中试线上试制出6N级石英砂。目前,项目正在紧张建设中,计划于2025年12月建成投产。


详细信息可见下表:


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7N级合成石英砂是制造极紫外(EUV)光刻机透镜的唯一材料,其杂质含量需低于0.1ppb(十亿分之一),否则会导致光路畸变。此前全球仅日本三菱化学能稳定供货。量产合成超高纯石英砂的本质是争夺高端制造业的“材料制空权”。没有7N级的砂,就没有7nm以下的芯——这已不仅是技术问题,更是市场竞争的关键命题。



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